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(12分) 氮化硅硬度大、熔點高、不溶于酸（氫氟酸除外），是一種重要的結構陶瓷材料。一種用工業硅（含少量鉀、鈉、鐵、銅的氧化物），已知硅的熔點是1420℃，高溫下氧氣及水蒸氣能明顯腐蝕氮化硅。一種合成氮化硅的工藝主要流程如下：

（1）凈化N₂和H₂時，銅屑的作用是：                       ；硅膠的作用是                  。

（2）在氮化爐中3SiO₂(s)+2N₂(g)=Si₃N₄(s) △H=－727.5kJ/mol，開始時為什么要嚴格控制氮氣的流速以控制溫度：         ；體系中要通入適量的氫氣是為了         。

（3）X可能是                  （選填：“鹽酸”、“硝酸”、“硫酸”、“氫氟酸”）。

（4）用硅粉作硅源、疊氮化鈉（NaN₃）作氮源，直接燃燒生成氮化硅（發生置換反應），該反應的化學方程式為：                  。