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據報道，太陽能光伏發電在上海世博會上得到了大規模的應用，總裝機容量超過4.68兆瓦。

（1）發展太陽能產業主要優點是（填一點即可）　　　　　　　　　　　 。

發生的反應為：

①SiO₂+2C Si+2CO↑

②Si+3HCl　　　　 SiHCl₃+H₂↑

③ SiHCl₃+H₂ 　　　　 Si+3HCl

整個制備過程必須達到無水無氧。在H₂還原SiHCl₃過程中若混入O₂，可能引起的后果是　　　　　　　　 。

（3）為了達到綠色化學和節約資源的目的，上述流程中某化合物需要循環使用，該物質的化學式是　　　 。

據報道，太陽能光伏發電在上海世博會上得到了大規
模的應用，總裝機容量超過4.68兆瓦。
（1）發展太陽能產業主要優點是（填一點即可）                      。
（2）太陽能光伏發電最關鍵的材料是高純硅，下圖是我市某多晶硅生產企業生產高純硅的流程示意圖：

發生的反應為：
①SiO₂+2C Si+2CO↑
②Si+3HCl SiHCl₃+H₂↑
③ SiHCl₃+H₂Si+3HCl
整個制備過程必須達到無水無氧。在H₂還原SiHCl₃過程中若混入O₂，可能引起的后果是                 。
（3）為了達到綠色化學和節約資源的目的，上述流程中某化合物需要循環使用，該物質的化學式是       。